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서울 가산디지털단지 한편에 자리한 사무실에는 세상에 없던 반도체 계측 장비를 만드는 스타트업이 있다. 이 회사가 개발한 제품은 세계 최초의 반도체 공장 라인용 멀티헤드 수정진동자 원자현미경. 원자현미경은 검사 물질(시료)의 표면을 ㎚(나노미터·10억분의 1m) 단위로 관찰하고 이를 눈에 보이는 이미지로 재현하는 첨단 장비를 뜻한다. 남들이 도전하지 않는 길을 가는 스타트업은 제원호 서울대 물리천문학부 명예교수가 2023년 설립한 멀티스케일인스트루먼트(MSI)다. 제 대표는 4일 서울경제신문과 인터뷰에서 MSI가 개발 중인 원자현미경 ‘크로노스 V8’의 실물을 보여주며 “8개의 측정 헤드를 탑재한 원자현미경으로 현미경 1대로 반도체 웨이퍼 표면 8곳을 동시에 관찰할 수 있다”고 소개했다. 크로노스 V8의 차별。은 작동 원리다. 현재 반도체 공정에 보편적으로 쓰이는 원자현미경은 캔틸레버 방식을 채택한다. 캔틸레버 방식은 현미경의 탐침과 시료 표면 사이 힘을 측정해 시료 표면을 분석하는데 이 과정에서 레이저를 사용하는 광학적 측정 방법이 수반된다 모바일릴게임사이트 . 이 때문에 광학계 부품이 현미경에 탑재되면서 장비 전체 크기가 커지기 마련이다. 반면 MSI가 지향하는 수정진동자 방식은 자가(自家) 감지 기반 기술이다. 광학 부품 없이 탐침으로 시료 분석이 가능하기에 현미경 장비의 크기를 줄이면서도 여러 개의 측정 헤드를 쉽게 장착할 수 있다. 원자현미경의 측정 헤드 수는 곧 계측 공정의 효율성을 뜻한다. 제 대표는 “지금은 보통 12인치 웨이퍼를 원자현미경으로 볼 때 1개의 측정 헤드로 계측한다”며 “반면 MSI의 제품을 사용하면 웨이퍼의 여러 곳을 동시에 계측하기에 공정 속도를 앞당기는 데 유리하다”고 설명했다. 그러면서 “시제품의 측정 헤드는 8개이지만 고객사 요청에 따라 16개 혹은 32개 등으로 늘릴 수 있다”고 덧붙였다. MSI는 내년 1월 미국에서 열릴 세계 최대 전자·정보기술(IT) 박람회 ‘CES 2027’에 참가하고 크로노스 V8을 공식 출시한다. 릴게임,릴박스,릴짱,게임몰,릴게임사이트 CES를 필두로 각종 국제 전시회에 나가며 글로벌 반도체 업계를 공략할 방침이다. 현재 국내 메모리 반도체 제조사 및 국내외 공정 장비 기업들과 원자현미경 납품을 논의하는 중이다. 회사는 이르면 내년 초 크로노스 제품의 기술 실증(POC) 사례가 나올 것으로 기대하고 있다. 아울러 MSI는 제품 다변화를 위한 준비도 수행하고 있다. 최근 한국투자파트너스, 기술보증기금, 아이디벤처스, 서울대 기술지주 등으로부터 45억 원의 시리즈A 투자를 유치하며 제품 개발 및 생산에 필요한 자금을 확보했다. 제 대표는 “반도체 생산라인용 원자현미경 외에도 연구기관 혹은 중소기업이 사용할 수 있는 제원의 현미경을 개발했다”며 “이번 투자 유치를 계기로 본격적인 제품 생산 체계를 구축할 예정”이라고 언급했다. 제 대표는 MSI 원자현미경의 사용처가 반도체 계측에만 국한되지 않을 것임을 강조했다. 그는 “원자 단위의 구조 및 표면 분석이 필요한 모든 산업 분야에 MSI의 현미경이 쓰일 수 있다”며 “2차전지, 차세대 소재 개발, 제약·바이오 산업에서 사용할 수 있는 원자현미경을 차례차례 개발할 것”이라고 밝혔다. v style="t