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2일(현지시간) 사우스차이나모닝포스트(SCMP) 등 복수 외신에 따르면 미국 워싱턴 싱크탱크인 기술국정운영센터(CTS)가 발간한 최신 보고서를 인용해 중국계 반도체 제조 공장(팹)들이 2026년 초까지 총 343대의 액침 심자외선(DUV) 노광 시스템을 확보했다고 전했다.
이번 보고서는 전직 미국 수출통제 관리인 니컬러스 브라운(Nicholas Brown)과 전 백악관 및 상무부 기술정책 고문인 사이프 칸(Saif Khan)이 공동 집필했다.
중국 기업들이 확보한 343대의 장비 중 약 270대는 네덜란드 에이에스엠엘(ASML)의 '트윈스캔 NXT:1980i(Twinscan NXT:1980i)' 모델인 것으로 파악됐다. 중국 파운드리는 극자외선(EUV) 장비 수입이 차단되자 규제 대상에서 제외됐던 심자외선 액침 노광 장비로 눈을 돌려 집중 매입했다. 중국 팹들은 NXT:1980i 장비를 2024년에 약 90대, 2025년에 89대 확보하는 데만 130억달러(약 17조9400억원) 이상을 투입했다. 이로 인해 ASML의 전체 출하 순매출 중 중국 비중은 2024년 41%, 2025년 33%에 달했다.
해당 장비는 다중 패터닝 공정을 거칠 경우 7나노미터(nm)급 로직 칩은 물론 화웨이의 어센드(Ascend) 시리즈 등 인공지능(AI) 프로세서용 첨단 메모리 제조에도 전용될 수 있다. 네덜란드 정부는 2023년 9월 고성능인 NXT:2000i 이상 모델에 대해 선적을 금지했고, 2024년 9월 NXT:1980i까지 허가제를 확대했으나 건별 심사 허용이라는 허。을 남겼다
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. 미국 의회는 중국 내 장비 판매와 유지보수를 포괄적으로 차단하는 '매치 법안' 처리를 촉구하는 등 전면 금수 압박을 높이고 있다.
보고서에 따르면 중국이 다른 공정 병목을 극복하고 연간 약 90대의 NXT:1980i 장비를 계속 도입할 경우, 보유한 DUV 설비를 기반으로 오는 2035년까지 엔비디아 H100에 상응하는 AI 반도체를 연간 최대 4억3400만개 생산할 수 있는 능력을 갖추게 된다.
반면 2027년에 신규 장비 수입이 완전히 중단되더라도 기존에 비축한 설비만으로 연간 최대 1억5300만개의 AI 가속기를 양산할 수 있는 잠재력을 확보한 것으로 분석됐다.
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