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| 서울=한스경제 김진영 기자 | 어플라이드 머티어리얼즈가 미국 캘리포니아 서니베일에서 반도체 공정 및 제조 장비 연구개발 전용 시설인 EPIC 센터를 공개했다. 총 50억 달러가 투입되는 이 시설에는 삼성전자와 SK하이닉스 등 주요 반도체 기업들이 창립 파트너로 참여한다.
어플라이드 머티어리얼즈는 12일(현지시각) 미국 캘리포니아주 서니베일 캠퍼스에서 EPIC(Equipment and Process Innovation and Commercialization) 센터를 선보였다. 총 50억 달러 규모가 투입되는 이 시설은 협업형 반도체 공정 기술 및 제조 장비 R&D 전용 시설로는 세계 최대 규모다.
EPIC 센터는 60만 제곱피트(약 5만5700㎡) 규모 건물에 약 4에이커(약 1만6200㎡) 면적의 첨단 클린룸을 갖췄으며, 완공까지 600만 시간 이상의 공사 시간이 소요됐다. 기초 공사에는 올림픽 규격 수영장 34개를 채울 수 있는 양의 콘크리트가 쓰였고, 철골 구조물에는 에펠탑 2개 분량의 철강이 투입됐다. 클린룸 상부를 덮는 지붕 트러스는 총 34개로 각각 길이 약 300피트(약 91m), 무게는 스쿨버스 12대 수준이다.
이 시설은 기초 재료 연구, 장비 및 공정 개발, 통합과 파일럿 생산이 분리돼 순차적으로 진행되던 기존 R&D 방식을 탈피해, 재료·장비·칩 제조 인력이 한 공간에서 병렬 개발을 추진하도록 설계됐다
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창립 파트너로는 삼성전자, SK하이닉스, TSMC, 인텔, 마이크론이 참여한다. 혁신 파트너로는 브로드컴, 아드반테스트, 스크린, 키옥시아, 베시가 합류했으며, 연구 파트너로 애리조나주립대학교, 렌셀러 폴리테크닉 대학교, 스탠포드 대학교, UC 버클리, UCLA 새뮤얼리 공과대학이 함께한다. 각 파트너는 자사 과제와 엔지니어를 투입해 어플라이드 팀과 협력하게 된다.
게리 디커슨 어플라이드 머티어리얼즈 회장 겸 CEO는 "AI 인프라가 확장되면서 고성능 컴퓨팅의 요구가 반도체 제조 기술 개발 로드맵 전반에 전례 없는 복잡성을 야기하고 있다"며 "AI 주도권 경쟁에서 승리하기 위해서 업계는 차세대 반도체 기술의 개발과 상용화를 위한 협업 방식을 원.에서 재검토하고 새롭게 설계해야 한다"고 말했다.
프라부 라자 어플라이드 머티어리얼즈 반도체 제품 그룹 사장은 "재료 혁신은 더 이상 순차적인 개발 방식만으로는 충분하지 않은 단계에 이르렀다"며 "EPIC은 재료, 공정 기술, 장비를 동시에 혁신하는 유일한 곳으로 새로운 재료와 기술의 성공률을 높인다"고 설명했다.
국내 참여 기업 경영진도 협업 의사를 밝혔다.
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송재혁 삼성전자 DS부문 CTO는 "삼성전자는 메모리, 첨단 로직, 첨단 패키징을 아우르는 기술 역량을 바탕으로 AI 시대의 컴퓨팅 기술 발전을 추진하고 있다"며 "양사는 EPIC을 통해 AI 기술 발전 속도에 발맞춰 혁신 기술의 개발부터 고도화, 실제 적용에 이르는 전 과정을 한층 가속화해 나갈 것"이라고 말했다.
곽노정 SK하이닉스 대표이사 사장은 "AI 컴퓨팅의 핵심 과제는 갈수록 강력해지는 프로세서가 최대 성능을 발휘할 수 있도록 데이터를 충분히 빠르게 전달하는 것이다. 이를 위해서는 훨씬 높은 대역폭과 속도, 용량을 갖춘 메모리가 필요하다"며 "EPIC에서 SK하이닉스와 어플라이드는 SK하이닉스의 첨단 메모리 리더십과 어플라이드의 재료공학 및 반도체 제조 기술 리더십을 결합해 HBM, D램, 낸드 전반의 주요 기술 전환.에 대응하고 AI 시대 메모리 혁신을 가속할 것"이라고 전했다.
웨이저자 TSMC 회장 겸 CEO는 "2나노미터를 넘어서는 차세대 기술에서도 어플라이드와 협력하며 미래 반도체 기술의 판도를 바꿀 혁신적인 장비 기술을 조기에 확보할 수 있다"고 말했으며, 립부 탄 인텔 CEO는 "EPIC은 인텔 팀이 재료 및 공정 혁신 분야에서 어플라이드와 함께 일할 기회를 제공해 신기술을 더 빠르게 시장에 선보일 수 있도록 돕는다"고 밝혔다. 산제이 메로트라 마이크론 테크놀로지 회장 겸 CEO 역시 "차세대 메모리 기술을 연구 단계에서 대규모 양산으로 이어갈 것"이라고 언급했다.
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